Aplicaciones de las bombas de vacío secas

Las bombas de vacío mecánicas secas son ampliamente utilizadas, principalmente en los siguientes aspectos:

1) En el proceso de preparación del polisilicio en deposición química de vapor a baja presión;

2) Proceso de grabado de semiconductores. En estos procesos de producción a menudo se utilizan o generan gases corrosivos y partículas abrasivas;

3) Además de los procesos de semiconductores, algunos procesos que generan partículas no quieren que las partículas se mezclen con el aceite de la bomba, sino que quieren las partículas que se descargarán Además de la bomba, un cierto tipo de bomba de vacío mecánica seca puede cumplir con los requisitos;

4) En la destilación, secado, desgasificación, envasado, etc. en la industria química, En la industria farmacéutica y alimentaria, se deben evitar los disolventes orgánicos. Si causan contaminación, es adecuado utilizar una bomba de vacío seca;

5) Se utiliza como bomba de respaldo para vacío limpio general sin aceite. Sistemas para prevenir la contaminación por hidrocarburos.